并购+技术破局，国内半导体设备厂商释放积极信号

在政策与市场需求双重推动之下，国内半导体并购热潮涌动，设备厂商也没有缺席。继北方华创宣布入股芯源微之后，国内半导体并购再次传出新动态，华海清科完成对芯嵛公司收购，加速高端半导体设备领域布局。与此同时，复杂国际形势影响下，半导体设备自主可控重要性不断凸显，除了并购之外，国内厂商也积极提升技术，推出代表性产品，加速破局与突围。

01华海清科完成对芯嵛公司收购，瞄准离子注入设备产品布局

4月1日，华海清科发布公告称，已完成对芯嵛公司剩余82%股权的收购。至此，公司及其全资子公司华海清科（上海）半导体有限公司合计持有芯嵛公司100%股权，芯嵛公司正式成为华海清科的全资子公司。华海清科上海对芯嵛公司持股78.6667%，华海清科股份有限公司持股21.3333%，合计持股100%。

华海清科公司及全资子公司华海清科上海合计使用自有资金不超过10.045亿元人民币完成此次交易，芯嵛公司已完成全部股权转让的工商变更手续，并取得中国（上海）自由贸易试验区市场监督管理局换发的《营业执照》。

华海清科表示 ，本次收购是公司为落实“装备+服务”平台化发展战略、拓展产品矩阵、加速集成电路离子注入设备产品布局的重要举措。

资料显示，华海清科是国内高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品包括CMP装备、大束流离子注入机、减薄抛光一体机、边缘修整机、边缘抛光机、刷片清洗机等。

芯嵛公司注册资本为1578.9474万元人民币，经营范围涵盖半导体器件专用设备制造、电子专用设备制造等领域，该公司核心产品为低能大束流离子注入设备，主要用于集成电路制造。

业界指出，离子注入设备研发难度仅次于光刻机，由于技术复杂度高、验证周期长的特点，长期以来被国外大厂垄断，国产化率极低，国内仅少数公司有所布局，未来发展战略意义重大。

02北方华创再受让芯源微8.41%股份，有望成第一大股东

近期，北方华创和芯源微同步发布公告。芯源微公告显示，持股公司5%以上股份的股东沈阳中科天盛自动化技术有限公司（以下简称“中科天盛”），通过公开征集转让的方式协议转让其持有的公司股份1690万股，占公司总股本的8.41%。

北方华创公告表示，经中科天盛组织的评审委员会评审，北方华创符合本次公开征集转让的受让方资格条件，经中科天盛内部决策，确定北方华创为本次公开征集受让方。3月31日，双方签署了《股份转让协议》。此次芯源微股份的交易价格为85.71元/股，交易总价款为14.48亿元。

除了竞买部分股份外，北方华创于3月10日与沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股。受让价格为88.48元/股，交易金额为16.87亿元，该协议受让尚在推进过程中。芯源微表示，如两次协议受让均过户完成，则北方华创对公司的持股比例将达到17.9%，北方华创将成为公司第一大股东。

芯源微主要从事半导体生产设备的研发，是国内领先的高端半导体装备制造企业，产品包括涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等。此前，北方华创表示，公司半导体设备领域主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、快速退火和晶体生长等核心工艺装备，芯源微的主要产品包括涂胶显影设备等核心工艺装备。双方同属集成电路装备行业，但产品布局有所不同，具有互补性，有利于双方协同效应的发挥。

03半导体设备新产品齐发，国产厂商秀“肌肉”

在刚刚结束的SEMICON China 2025展会上，国内半导体设备厂商新品涌现，技术实力引发极大关注。

北方华创发布了首款离子注入机Sirius MC 313，进军离子注入设备市场，同时其还发布了首款12英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，专为硅通孔（TSV）铜填充设计，主要应用于2.5D/3D先进封装领域。

华海清科携全系列先进半导体装备及工艺集成解决方案亮相，其中，Universal-H300采用创新抛光系统架构，是集先进抛光工艺、高效率、高稳定性于一体的12英寸CMP装备；iPUMA-LE大束流离子注入机运用先进束流爬坡技术，集成了磁场和电场模块，搭载精准的量测技术，具有优秀的离子筛选能力和精准度。

中微公司发布其主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™，实现了在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新。

拓荆科技发布ALD系列、3D-IC及先进封装系列，CVD系列新品。

东方晶源发布最新一代DR-SEM r655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组。

国内半导体设备厂商不断实现技术提升，展示新产品，这不仅反映出当前受部分需求推动，设备市场呈现强劲发展的趋势，也反映出在全球半导体产业竞争白热化的当下，国内厂商顺应变化、加强技术攻坚、逐步破局的能力，未来前景值得期待。